化学机械抛光,化学抛光

化学机械抛光(cmp)
一般分为机械抛光和化学抛光.
精密零件加工中铝表面机械抛光和化学抛光的区
公司经营范围:提供化学机械研磨和晶圆研磨用浆料
氮化硅陶瓷球化学机械抛光机理的研究_朱从容