化学机械抛光,化学抛光

8,化学机械抛光机(cmp,chemical mechanical planarization)
△化学机械抛光示意图
cn102240927a_利用化学机械抛光设备进行化学机械抛光的方法有效
瑞士gerber 精密强力端面抛光机
日本okamoto冈本半自动cmp化学机械抛光机spp600s