光刻曝光,光刻

光刻技术的精度受到光子在波长尺度上的散射影响.
其次,压印光刻不需要复杂的透镜,曝光光源,并且可以大批量重复的在大
电子束光刻不过是用电子束取代了短波长的光,技术更超前
y1d25半导体光刻技术概述
光刻工作总结报告ppt