离子注入掺杂,

离子注入ppt
第 4 章 离子注入 离子注入是另一种对半导体进行掺杂的方法
1概述 1 介绍离子注入掺杂在硅片制造过程中的目的和应 用 2.
精确可控性使得离子注入技术成为最重要的掺杂方法.
第6章 掺杂技术 一,扩散 二,离子注入