化学气相沉积装置,化学气相沉积装置图

化学气相沉积技术.ppt
智能型双温区等离子化学气相沉积系统
pecvd设备 化学气相沉积设备
一种气泡化学气相沉积法制备石墨烯粉体的设备的制作方法
目前,等离子体增强化学气相沉积法(plasma enhanced chemical vapor