化学气相沉积装置,化学气相沉积装置图

化学气相沉积法实验装置.
化学气相沉积设备,所述设备包括机架,管式加热炉膛,石英管和微波装置
一种半导体生产用等离子辅助化学气相沉积装置
一种化学气相沉积装置的制作方法
化学气相沉积石墨化一体炉cvd沉积炉