等离子体化学气相沉积,化学气相沉积装置

pecvd(等离子体增强化学气相沉积)原理
化学气相沉积法cvd和等离子气相沉积法pcvd两者都是利用化学气相法
等离子体化学气相沉积(pecvd)
等离子体增强化学气相沉积pecvd
微波等离子化学气相沉积mpcvd