等离子体化学气相沉积,化学气相沉积装置

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置制造方法及图纸
图1 等离子体化学气相沉积装置示意图
pecvd-300型等离子体化学气相沉积镀膜设备
cn105008585a_等离子体增强的化学气相沉积(pecvd)源失效
德国wl微波等离子体增强化学气相沉积机