等离子体化学气相沉积,化学气相沉积装置

等离子体增强化学气相沉积系统pecvd
通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体
①pcvd pcvd(等离子体化学气相沉积)借助于气体辉光放电产生的低温
微波等离子辅助化学气相沉积(mpacvd)
等离子化学气相沉积