等离子体化学气相沉积,化学气相沉积装置

微波等离子体化学气相沉积装置
直流等离子体化学气相沉积法装置示意图
微波等离子体化学气相沉积—— 一种制备金刚石膜的理想方法
热丝和射频等离子体化学气相沉积法制备定向碳纳米管薄膜
等离子体增强化学气相沉积系统的制作方法