mems传感器和微纳制造技术
考验制程与产品性能的mems微缩趋势
固定的mems器件包括本体微机械加工传输线,滤波器和耦合器,可动的mems
图1 mems微型传感器及微机械结构图
前途无量的mems传感器
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