赛微电子300456:全球领先的mems代工龙头企业
主要产品及业务包括mems芯片的工艺开发及晶圆制造,导航系统及器件
mems传感器作为获取信息的关键器件,对各种传感装置的微型化起着巨大
光学mems和传感器培训课程
mems器件及相关加工技术ppt
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