国内首款硅基压电mems水听器芯片在青发布
智能手机中使用到很多mems器件,如加速度计,陀螺仪,电子罗盘,压力
市场 汽车 传感器和电子器件微机电系统(mems 设备对于汽车行业至关
mems器件封装技术
这类巧妙设计的硅基mems器件,在待机状态下实现了零功耗.
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