磁控溅射靶示意图,磁控溅射

磁控溅射镀膜工艺对溅射靶材的要求较高,如尺寸,平整度,纯度,各项杂质
磁控溅射原理详细介绍ppt
磁控溅射原理ppt
1实验设备与方法 图 l为中频磁控溅射的装置 a由水平冷却靶磁控溅射
为了增加rf溅射效率,一般在溅射靶材背面加上磁铁,称为射频磁控溅射