磁控溅射靶示意图,磁控溅射

一种磁控溅射靶的屏蔽板调节装置制造方法及图纸
磁控溅射靶材 镀膜靶材 粉末
cn1743498a_一种旋转磁场平面靶磁控溅射装置失效
磁控溅射原理 为了提高离化率,增加溅射沉积的速率,在靶背面增加磁
本实用新型提供了一种磁控溅射装置,可实现工件的自转与公转,且靶基距