磁控溅射靶示意图,磁控溅射

一种磁控多弧靶的制作方法
磁控溅射镀膜技术1ppt
本实用新型涉及磁控溅射技术领域,特别是涉及一种磁控靶及其靶芯.
降低靶表面中毒和提高镀膜效率及结合力的磁控溅射/微波表面波沉积
等离子体增强磁控溅射系统技术方案,三靶磁控溅射系统专利_技高网