磁控溅射靶示意图,磁控溅射

平衡磁控溅射即传统的磁控溅射,是在阴极 靶材背后放置芯部与外环
真空磁控溅射技术理论示意图
一种磁极回转的圆形平面磁控溅射靶
磁控溅射介绍ppt
一种真空镀膜机的磁控溅射靶装置的制作方法