离子溅射沉积,

离子束溅射沉积示意图
溅射现象
技术说明 磁控溅射_高端离子真空镀膜机_pvd涂层设备-北京丹普表面
磁控溅射法的本质是用工作气体(通常是氩气)的离子从靶材表面击出物质
离子束增强沉积的基本原理图在离子束溅射沉积薄膜过程中,伴随着靶材