离子溅射沉积,

在溅射镀膜过程中,靶坯被离子撞击后,其表面原子被溅射飞散出来并沉积
高能离子轰击靶材 高能离子轰击靶材,溅射出原子或分子沉积在 阳极
薄膜的物理气相沉积Ⅱ溅射法.ppt 42页
溅射沉积,溅射靶材,离子溅射,高真空泵
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