离子溅射沉积,

离子溅射镀膜仪
离子辅助沉积法制备sio_2介质薄膜的应力研究_张金胜
有几种应用光学镀膜的技术,包括蒸发沉积,等离子溅射,离子束溅射和
背景技术:磁控溅射技术以其低温沉积,表面光滑,无颗粒缺陷等诸多优点
上海光机所在基频激光辐照下双离子溅射薄膜的激光损伤研究中取得进展