离子溅射沉积,

离子束轰击样品表面,使样品表面的分子吸收能量而从表面发生溅射产生
伯东kri 双离子源辅助离子束溅射技术获取高反射吸收ta2o5薄膜_环保
分子或原子团的二次发射,即离子溅射
伯东公司美国考夫曼栅极离子源成功应用于离子溅射镀膜(ibsd)
溅射工艺